无尘室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。

　　无尘室内该如何防止微粒子污染呢?应遵守下列四项基本原则：

　　一、不携入

　　在无尘室内不携入微粒子的方法有：
　　 1)作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理;
　　 2)进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。
　　 3)通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。
　　 4)机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。
　　 5)无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

　　二、不发生

　　在控制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策：

　　1)减少接触剥离发尘的动作形态;
　　 2)采用磨耗发尘小的材质;
　　 3)采用发尘小的润滑油;
　　 4)机台应用空压浮上的非接触化工作原理。